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四川G-31B4型高精密雙面光刻機(jī)

一、主要用途主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。二、主要…

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G-31B4型高精密光刻機(jī)


產(chǎn)品介紹:

設(shè)備概述

本設(shè)備廣泛用于各大、中、小型企業(yè)、大專院校、科研單位,它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。

主要構(gòu)成

本設(shè)備為板板對(duì)準(zhǔn)雙面曝光

主要由雙視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、二臺(tái)高均勻性曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、高精度對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、Z軸升降機(jī)構(gòu)、真空管路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)等組成。


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曝光頭部件圖


CCD顯微系統(tǒng)|X、Y、Q對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)

主要功能特點(diǎn)

1.適用范圍廣
適用于φ100mm以下、厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對(duì)準(zhǔn)曝光,雙面可同時(shí)曝光,亦可用于單面曝光。

2.結(jié)構(gòu)**
Z
軸采用滾珠直進(jìn)式導(dǎo)軌和可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu),真空吸版,防粘片機(jī)構(gòu)。

3.操作簡(jiǎn)便
X\Y
移動(dòng)、Q轉(zhuǎn)、Z軸升降采用手動(dòng)方式;
吸版、反吹采用按鈕方式,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理都非常簡(jiǎn)便。

 4. 可靠性高
采用進(jìn)口(日本產(chǎn))電磁閥、按鈕、定時(shí)器;采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和

精密的機(jī)械零件,使本機(jī)運(yùn)行具有非常高的可靠性。
      5.
特設(shè)功能
 
  除標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)外,還可以為用戶定制專用承片臺(tái),來(lái)解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開(kāi)所引起的版片無(wú)法對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題


主要技術(shù)指標(biāo)

曝光類型:版-版對(duì)準(zhǔn)雙面曝光
曝光面積:φ100mm
曝光不均勻性:≤±3%
曝光強(qiáng)度:≥5mw/cm2
曝光分辨率:2μm
曝光模式:雙面同時(shí)曝光,配置2臺(tái)GCQ350W型**壓直流球形汞燈高均勻性曝光頭

對(duì)準(zhǔn)范圍:X:±5mm Y:±5mm
套刻精度:2μm

旋轉(zhuǎn)范圍:Q向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)±5°

顯微系統(tǒng):雙視場(chǎng)CCD系統(tǒng),物鏡1.6X10X,計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng),19″液晶監(jiān)視器;
掩模版尺寸:能真空吸附4"方形掩板,對(duì)版的厚度無(wú)特殊要求(13mm皆可)。

基片尺寸:適用于Φ3"mm圓形基片(或3"×3"mm方形基片),基片厚度≤5mm。




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