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G-25X型高精密單面光刻機(jī)

G—25X型精密光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)一、主要用途 本設(shè)備是我公司針對各大專院校及科研單位對光刻機(jī)的使用特性專門研發(fā)的一種精密光刻…

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G-25X型高精密光刻機(jī)

產(chǎn)品介紹:

設(shè)備概述:

本設(shè)備是我公司專門針對各大專院校及科研單位對光刻機(jī)的使用特性研發(fā)的一種高精密光刻機(jī),它 主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

主要構(gòu)成
主要由高精度對準(zhǔn)工作臺、雙目分離視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、曝光頭、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、防震工作臺和附件箱等組成。



多點(diǎn)光源(蠅眼)                           三點(diǎn)找平機(jī)構(gòu)
可調(diào)光強(qiáng)的光欄                     高精度X、Y、Z、Q 調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)


主要功能特點(diǎn)


1. 適用范圍廣
適用于Φ100mm以下,厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準(zhǔn)曝光。
2. 結(jié)構(gòu)**
具有氣浮式找平機(jī)構(gòu)和可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu);具有真空掩膜版架、真空片吸盤。
3. 操作簡便
采用翻板方式取片、放片;按鈕、按鍵方式操作,可實(shí)現(xiàn)真空 吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理 都非常簡便。
4. 可靠性高
采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時(shí)器;采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件,使本機(jī)具有非常高的可靠性。
5. 特設(shè)功能
除標(biāo)準(zhǔn)承片臺外,還可以為用戶定制專用承片臺,來解決非圓形基片、碎片和底面不平   的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題

主要技術(shù)指標(biāo)

1.  設(shè)備能真空吸附5"×5"方形掩板,對版的厚度無特殊要求(13mm皆可)。

2.  設(shè)備能適用于Φ100mm圓形基片(或100×100mm方形基片),基片厚度≤5mm,當(dāng)您的基片厚度≤1mm時(shí),我公司為本機(jī)配置標(biāo)準(zhǔn)承片臺(不另計(jì)費(fèi)),當(dāng)基片厚度>1mm時(shí),設(shè)備需配置專用承片臺(訂貨時(shí)用戶須說明,費(fèi)用另議)。

3.  照明:

光源:采用GCQ350Z型**壓水銀直流汞燈。

照明范圍:≤ф117mm曝光面積:Φ100mm在Φ100mm范圍內(nèi),曝光不均勻性≤±3%,曝光強(qiáng)度:≥5mw/ cm2(此指標(biāo)用紫外光源I365nm測量)。

4.  本設(shè)備采用進(jìn)口時(shí)間繼電器控制氣動(dòng)快門,動(dòng)作準(zhǔn)確、可靠。

5.  本機(jī)為接觸式曝光機(jī),但可實(shí)現(xiàn):

a.  硬接觸曝光:用管道真空來獲得高真空接觸,真空≤-0.05MPa。

b.  軟接觸曝光:接觸壓力可將真空降到-0.02MPa -0.05MPa之間。

c.  微力接觸曝光:小于軟接觸,真空≥-0.02MPa

6.  曝光分辯率:本設(shè)備硬接觸曝光的分辨度可達(dá)1μm以上。

7. 對準(zhǔn):觀察系統(tǒng)為兩個(gè)單筒顯微鏡上裝二個(gè)CCD攝像頭,通過視屏線連接到顯視屏上。






四川光刻機(jī)


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