G-31B6型高精密光刻機(jī)

產(chǎn)品介紹：

設(shè)備概述

本設(shè)備廣泛用于各大、中、小型企業(yè)、大專院校、科研單位，它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。

主要構(gòu)成

本設(shè)備為板板對(duì)準(zhǔn)雙面曝光

主要由雙目視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、二臺(tái)高均勻性**壓汞燈曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、高精度對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、Z軸升降機(jī)構(gòu)、真空管路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)等組成。

曝光頭部件圖

CCD顯微系統(tǒng)|X、Y、Q對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)

主要功能特點(diǎn)

1.適用范圍廣
適用于φ160mm以下、厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對(duì)準(zhǔn)曝光，雙面可同時(shí)曝光，亦可用于單面曝光。

2.結(jié)構(gòu)**
Z軸采用滾珠直進(jìn)式導(dǎo)軌和可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu)，真空吸版，防粘片機(jī)構(gòu)。

3.操作簡便
X\Y移動(dòng)、Q轉(zhuǎn)、Z軸升降采用手動(dòng)方式；
吸版、反吹采用按鈕方式，操作、調(diào)試、維護(hù)、修理都非常簡便。

 4. 可靠性高
采用進(jìn)口（日本產(chǎn)）電磁閥、按鈕、定時(shí)器；采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和

精密的機(jī)械零件，使本機(jī)運(yùn)行具有非常高的可靠性。
5. 特設(shè)功能
除標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)外，還可以為用戶定制專用承片臺(tái)，來解決非圓形基片、碎片和底面

不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對(duì)準(zhǔn)的問題

主要技術(shù)指標(biāo)

1、工作臺(tái)行程(X向、Y向/Z向/θ向）：±5mm/10mm/±5°；

2、適用基片尺寸: ≤6英寸；

3、掩模版尺寸：≤ 7″（175×175 mm）；

4、對(duì)準(zhǔn)精度（正面對(duì)準(zhǔn)/背面對(duì)準(zhǔn)）:±2um/±3um；

5、放大倍率:51×～570×(ccd連續(xù))；

6、曝光光源:UV365，500W**壓汞燈；

7、曝光面積:φ160mm；

8、曝光分辨率:2 um（膠厚≤1 um，正膠、真空接觸）；

9、光強(qiáng) :≥ 5mW/cm2；

10、曝光不均勻性:±5%；

11、曝光時(shí)間:0～999.9s；