色婷婷综合久色AⅤ五区最新,国产精品秘 一区二区三区高潮,麻豆乱码国产一区二区三区,国产精品人妻无码久久久郑州,国产91亚洲精品成人AA片p站

歡迎訪問成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司官方網(wǎng)站!

成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司

二十年專業(yè)品質(zhì) 通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證

立即咨詢

24小時(shí)咨詢熱線:
13908187709
產(chǎn)品中心

德陽G-31D6型高精密雙面光刻機(jī)

G-31D6型高精密光刻機(jī) 產(chǎn)品介紹: 設(shè)備概述 本設(shè)備廣泛用于各大、中、小型企業(yè)、大專院校、科研單位,它主要用于中小規(guī)模集成電路…

相關(guān)內(nèi)容
在線留言
詳情內(nèi)容
content details


G-31D6型高精密光刻機(jī)

產(chǎn)品介紹:

設(shè)備概述

本設(shè)備廣泛用于各大、中、小型企業(yè)、大專院校、科研單位,它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。

主要構(gòu)成

本設(shè)備為板板對準(zhǔn)雙面曝光

主要由雙目視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、二臺(tái)6"LED專用曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、高精度對準(zhǔn)工作臺(tái)、Z軸升降機(jī)構(gòu)、真空管路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)等組成。

29b116c7630c01ff3be74f629cfac7b








曝光頭部件圖

IMG_256






CCD顯微系統(tǒng)|X、Y、Q對準(zhǔn)工作臺(tái)

主要功能特點(diǎn)


1.適用范圍廣

適用于150×150mm以下、厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準(zhǔn)曝光,雙面可同時(shí)曝光,亦可用于單面曝光。


2.結(jié)構(gòu)

Z軸采用滾珠直進(jìn)式導(dǎo)軌和可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu),真空吸版,防粘片機(jī)構(gòu)。

3.操作簡便

X\Y移動(dòng)、Q轉(zhuǎn)、Z軸升降采用手動(dòng)方式;吸版、反吹采用按鈕方式,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理都非常簡便。

4. 可靠性高

采用進(jìn)口(日本產(chǎn))電磁閥、按鈕、定時(shí)器;采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件,使本機(jī)運(yùn)行具有非常高的可靠性。

5. 特設(shè)功能

除標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)外,還可以為用戶定制專用承片臺(tái),來解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題

主要技術(shù)指標(biāo)

1、曝光類型:版版對準(zhǔn)雙面曝光

2、曝光面積:150×150mm;

3、曝光照度不均勻性:≤±3.5%;

4、曝光強(qiáng)度:0~30mw/cm2可調(diào);

5、紫外光束角:≤3°;

6、紫外光中心波長:365nm;

7、紫外光源壽命:≥2萬小時(shí);

8、工作面溫度:≤30℃

9、采用電子快門;

10、曝光分辨率:1μm(曝光深度為線寬的10倍左右)

11、曝光模式:雙面同時(shí)曝光

12、對準(zhǔn)范圍:X:±5mm Y:±5mm

13、套刻精度:1μm

14、旋轉(zhuǎn)范圍:Q向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)≤±5°

15、顯微系統(tǒng):雙視場CCD系統(tǒng),物鏡1.6X~10X,計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng),19″液晶監(jiān)視器;

16、掩模版尺寸:能真空吸附6"方形掩板,對版的厚度無特殊要求(1~3mm皆可)。

17、基片尺寸:適用于Φ5"mm圓形基片(或3"×3"mm方形基片),基片厚度≤5mm。

【全文完】

標(biāo)簽:

在線留言

LEAVE A MESSAGE

鑫南光咨詢服務(wù)熱線:
13908187709

立即在線咨詢預(yù)約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業(yè)港雙流園區(qū)渤海路36號(hào)(3座)
版權(quán)所有:

成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司

備案號(hào):蜀ICP備12015633號(hào)-3

網(wǎng)站地圖 RSS XML  
聯(lián)系人:劉經(jīng)理 電話:028-85730589     技術(shù)支持:  萬家燈火  
  全國服務(wù)熱線:15390063681  郵箱:x.n.g@163.com
色婷婷综合久色AⅤ五区最新,国产精品秘 一区二区三区高潮,麻豆乱码国产一区二区三区,国产精品人妻无码久久久郑州,国产91亚洲精品成人AA片p站