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德陽(yáng)G-31B6型高精密雙面光刻機(jī)

一、主要用途主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。二、設(shè)備…

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G-31B6型高精密光刻機(jī)

產(chǎn)品介紹:

設(shè)備概述

本設(shè)備廣泛用于各大、中、小型企業(yè)、大專院校、科研單位,它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。

主要構(gòu)成

本設(shè)備為板板對(duì)準(zhǔn)雙面曝光

主要由雙目視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、二臺(tái)高均勻性**壓汞燈曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、高精度對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、Z軸升降機(jī)構(gòu)、真空管路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)等組成。


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曝光頭部件圖

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CCD顯微系統(tǒng)|X、Y、Q對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)

主要功能特點(diǎn)

1.適用范圍廣
適用于φ160mm以下厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對(duì)準(zhǔn)曝光,雙面可同時(shí)曝光,亦可用于單面曝光。

2.結(jié)構(gòu)**
Z
軸采用滾珠直進(jìn)式導(dǎo)軌和可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu),真空吸版,防粘片機(jī)構(gòu)。

3.操作簡(jiǎn)便
X\Y
移動(dòng)、Q轉(zhuǎn)、Z軸升降采用手動(dòng)方式;
吸版、反吹采用按鈕方式,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理都非常簡(jiǎn)便。

 4. 可靠性高
采用進(jìn)口(日本產(chǎn))電磁閥、按鈕、定時(shí)器;采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和

精密的機(jī)械零件,使本機(jī)運(yùn)行具有非常高的可靠性。
5.
特設(shè)功能
除標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)外,還可以為用戶定制專用承片臺(tái),來解決非圓形基片、碎片和底面

不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對(duì)準(zhǔn)的問題

主要技術(shù)指標(biāo)

1、工作臺(tái)行程(X向、Y/Z/θ向):±5mm/10mm/±5°;

2、適用基片尺寸: 6英寸;

3、掩模版尺寸:≤ 7″(175×175 mm);

4、對(duì)準(zhǔn)精度(正面對(duì)準(zhǔn)/背面對(duì)準(zhǔn)):±2um/±3um;

5、放大倍率:51×~570×(ccd連續(xù));

6、曝光光源:UV365,500W**壓汞燈;

7、曝光面積:φ160mm;

8、曝光分辨率:2 um(膠厚≤1 um,正膠、真空接觸);

9、光強(qiáng) : 5mW/cm2;

10、曝光不均勻性:±5%

11、曝光時(shí)間:0999.9s;




【全文完】

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