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成都光刻機(jī)

鑫南光公司小編為大家介紹關(guān)于成都光刻機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn):一、主要用途本設(shè)備是我公司針對(duì)各大專院校及科研單位對(duì)光刻機(jī)的使用特性專門…

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鑫南光公司小編為大家介紹關(guān)于成都光刻機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn):

一、主要用途

本設(shè)備是我公司針對(duì)各大專院校及科研單位對(duì)光刻機(jī)的使用特性專門研發(fā)的一種精密光刻機(jī),它 主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

二、主要構(gòu)成

主要由高精度對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、曝光頭、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、防震工作臺(tái)和附件箱等組成。

三、主要功能特點(diǎn) :

1.適用范圍廣:

適用于Φ100mm以下,厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對(duì)準(zhǔn)曝光。

2.結(jié)構(gòu)**

具有半球式找平機(jī)構(gòu)和可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu);具  有真空掩膜版架、真空片吸盤(pán)。

3.操作簡(jiǎn)便

采用翻板方式取片、放片;按鈕、按鍵方式操作,可實(shí)現(xiàn)真空 吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理 都非常簡(jiǎn)便。

4.可靠性高

采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時(shí)器;采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件,使本機(jī)具有非常高的可靠性。

5.特設(shè)“碎片”處理功能

解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開(kāi)所引起的版片無(wú)法對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題。

四、主要技術(shù)指標(biāo):

1、曝光頭:采用蠅眼曝光頭

2、曝光類型:?jiǎn)蚊?

3、曝光面積:φ100mm

4、光束不平行度:≤6°

5、曝光不均勻性:≤±3%

6、掩模版尺寸:2.5″×2.5″、4″×4″、 5″×5″

7、基片尺寸:φ2″、φ3″、φ4″

8、基片厚度:≤5 mm

9、曝光強(qiáng)度:≥5mw/cm2

10、曝光分辨率:≤1.0μm

11、曝光模式:套刻曝光

12、對(duì)準(zhǔn)精度:1μm

13、掃描范圍:X:±40mm   Y:±35mm

14、對(duì)準(zhǔn)范圍:承片臺(tái)相對(duì)于版運(yùn)動(dòng)為:

①x、y±5mm運(yùn)動(dòng),放大比為400:1;

②Q轉(zhuǎn)動(dòng)為±5°;③Z軸運(yùn)動(dòng)≤4mm;

15、密著曝光方式:密著曝光可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;

16、顯微系統(tǒng):雙視場(chǎng)CCD系統(tǒng);連續(xù)可調(diào)(物鏡0.7~4.5倍連續(xù)可調(diào));

計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng);

17、曝光燈功率:直流350W

18、曝光定時(shí):0~999.9秒可調(diào)

19、電源:AC220V 50Hz 1kW

20、空氣:P≥0.1MPa,耗氣量0.2m3小時(shí);

21、真空度:-0.07MPa~-0.09MPa

22、外形尺寸:918×680×1450(L×W×H)mm

23、重量:~160kg

四川光刻機(jī)

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