成都精密光刻機的主要用途和主要性能指標(biāo)：

1、 主要用途：

（1） 這是一臺雙面對準(zhǔn)單面曝光的光刻機；

（2） 這臺機器又能完成普通光刻機的任何工作；

（3） 同時又是一臺檢查雙面對準(zhǔn)精度的檢查儀。

2、 主要性能指標(biāo)：

（1） 高均勻性蠅眼曝光頭。

a、 采用350W直流球形汞燈；

b、 出射光斑≤φ116mm；

c、 光強≤15mw；

d、 光的不均勻性≤±3%；

e、 光強度可通過光闌或汞燈電流調(diào)節(jié)，3～15mw任意調(diào)節(jié)；

f、 曝光時間采用0～999.9秒（日本OMRON生產(chǎn)）時間繼電器控制。

g、 對準(zhǔn)精度：±0.5μm

h、 套刻精度：1μm

（2） 觀察系統(tǒng)為上下各兩個無級變倍、高分辨率單筒顯微鏡上裝四個CCD攝像頭通過視屏線連接計算機到19″高清液晶顯視屏上。

a、 單筒顯微鏡為0.7X～4.5X連續(xù)變倍顯微鏡；

b、 CCD攝像機靶面對角線尺寸為：1/3″,6mm；

c、 采用19″液晶監(jiān)視器，其數(shù)字放大倍率為17×25.4/6=72倍；

d、 觀察系統(tǒng)放大倍數(shù)為：0.7×72=50.4倍（*小倍數(shù)）

4.5×72=324倍（*大倍數(shù)）；

e、右表板上有一視屏轉(zhuǎn)換開關(guān)：向左為下二個CCD，向右為上二個CCD。

（3）計算機硬軟件系統(tǒng)：

a、鼠標(biāo)單擊“開始對準(zhǔn)”，能將監(jiān)視屏上的圖形記憶下來，并處理成透明的，以便對新進入的圖形進行對準(zhǔn)；

b、鼠標(biāo)雙擊左面或右面圖形，就分別全屏顯示左或右面圖形。

（4）非常特殊的板架裝置：

a、該裝置能分別裝入100×100板架或125×125板架，對版進行真空吸附；

b、該裝置安裝在機座上，能圍繞A點作翻轉(zhuǎn)運動，相對于承片臺而言作上下翻轉(zhuǎn)運動，以便于上下版和上下片；

c、該裝置來回反復(fù)翻轉(zhuǎn)，回到承片臺上平面的位置，重復(fù)精度為≤±1.5μ；

d、該裝置具有補償基片楔形誤差之功能，**版下平面與片上平面之良好接觸，以便提高曝光質(zhì)量。

（5）承片臺調(diào)整裝置：

a、 配備有Φ75、Φ100承片臺各一個，這二種承片臺有二個長方孔，下面二個CCD通過該孔能觀察到版或片的下平面；

b、 承片臺能作X、Y、Z、θ運動，X、Y、Z可作±5mm運動，θ運動為±5°；

c、 承片臺密著環(huán)相對于版，能實現(xiàn)“真空密著”：

真空密著力≤-0.05Mpa為硬接觸；

真空密著力≤-0.05Mpa～-0.02Mpa為軟接觸；

真空密著力≤-0.02Mpa為微力接觸；

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