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簡(jiǎn)述光刻機(jī)的演變和所面臨的挑戰(zhàn)

發(fā)布時(shí)間: 2020-06-20 來源:

四川光刻機(jī)是諸多當(dāng)代技能高度集成的產(chǎn)物, 這些技能是:物理學(xué),光學(xué),化學(xué),質(zhì)料科學(xué),精密呆板,精密控制,工程學(xué)等等。

四川光刻機(jī)

在過往的20幾年中,光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造業(yè)的緊張配置,經(jīng)歷了許多次革命。這些變革是陪伴著微處理懲罰器和DRAM特征尺寸的不??s減產(chǎn)生的演變。 由于光刻的辨別率與曝光波長、物鏡光闌孔徑的干系為:辨別率=K1λ/NA以是光刻機(jī)的革命緊張產(chǎn)生在這樣幾個(gè)方面[2-8]:大NA非球面鏡光學(xué)體系,短波長光源,辨別率增強(qiáng)技能(低沉K1因子),同步掃描工件臺(tái)等。

在過往的20幾年中,光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造業(yè)的緊張配置,經(jīng)歷了許多次革命。這些變革是陪伴著微處理懲罰器和DRAM特征尺寸的不停縮減產(chǎn)生的演變。 由于光刻的辨別率與曝光波長、物鏡光闌孔徑的干系為:辨別率=K1λ/NA以是光刻機(jī)的革命緊張產(chǎn)生在這樣幾個(gè)方面[2-8]:大NA非球面鏡光學(xué)體系,短波長光源,辨別率增強(qiáng)技能(低沉K1因子),同步掃描工件臺(tái)等。

光刻機(jī)螺紋隔爆結(jié)構(gòu)有何規(guī)定

在環(huán)境實(shí)驗(yàn)箱維修中不經(jīng)常拆卸的部分可以使用螺紋隔爆結(jié)構(gòu). 從氫氣、乙炔一空氣混合物的爆炸試驗(yàn)結(jié)果看,螺紋隔爆結(jié)構(gòu)是*好的靜止隔爆結(jié)構(gòu)。例如:在礦用隔爆型移動(dòng)變電站的高、低壓接線盒中,套管與接線座、接線座與出線盒法蘭之間均為螺紋隔爆結(jié)構(gòu).

采用螺紋隔爆結(jié)構(gòu)時(shí),必須**同種零件間的互換性,還必須符合下列規(guī)定:

1.螺紋精度須不低于3級(jí),螺距須不小于0.7mm;

2.螺紋的*少嚙合扣數(shù)、*小擰入深度,須符合規(guī)定;

3.螺紋結(jié)構(gòu)須有防止自行松脫的措施.

成都光刻機(jī)

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